Havadaki partiküller ve nem oksijen konsantratörünün kompresör, moleküler sieve ve valf gibi parçalarının içinde birikebilir. Bu tehlikeleri önlemek amacıyla oksijen konsantratöründe özel filtreler kullanılmıştır. Filtreler sadece havanın geçmesine izin verir ve partiküller cihaza girmeden filtrede tutulur.Bu şekilde zihazın valflerinin zarar görmesi engellenir. Kağıt hava giriş filtresi 500 saatte bir değiştirilmesi tavsiye edilir.